產(chǎn)品展示
熱銷產(chǎn)品
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白光干涉儀SIS系列 添加時(shí)間:2018/4/9
產(chǎn)品詳情
基本信息
品牌: | SNU | 型號(hào): | SIS 1200 | 操作方式: | 手動(dòng) |
功能: | 檢測(cè)、觀察、分析 | 精度 : | 1nm | ||
其它型號(hào): |
產(chǎn)品介紹
白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù),是專為準(zhǔn)確測(cè)量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計(jì)的微納米測(cè)量系統(tǒng),,為韓國(guó)SAMSUNG全球唯一指定供應(yīng)商,LPL友好俱樂(lè)部成員,清華大學(xué),臺(tái)灣大學(xué),首爾大學(xué)友好合作伙伴。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、非接觸式測(cè)量:避免物件受損。
2、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率:垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號(hào)處理器:實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái):氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。
8、測(cè)量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
2、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率:垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號(hào)處理器:實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái):氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。
8、測(cè)量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
技術(shù)參數(shù)
機(jī)型
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SIS 1200
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工作臺(tái)
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尺寸
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250 mm×174 mm
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傾斜度
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±3 °
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測(cè)量行程
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X:150mm Y:100mm
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Z軸行程
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50mm
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運(yùn)動(dòng)方式
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手動(dòng)
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掃描速度
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30μm/sec
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垂直分辨率
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0.1nm
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CCD
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黑白CCD, 640×480 像素
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物鏡安裝架
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手動(dòng)導(dǎo)引五孔式
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鏡頭選配
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鏡頭:5×、10×、20×、50×
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應(yīng)用領(lǐng)域
1、TFT產(chǎn)業(yè)
2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高??蒲?br /> 5、精密加工
2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高??蒲?br /> 5、精密加工
附件
水準(zhǔn)測(cè)量器、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、CCD、鏡頭、LED光源、掃描控制盒、PZT傳感器、光源控制器等
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